Os sistemas de rodamentos de aire de granito úsanse amplamente enultraprecisiónplataformas de movemento para a fabricación de semicondutores, aliñamento óptico e metroloxía a escala nanométrica.
Estes sistemas eliminan o contacto mecánico mediante o uso dunha fina película de aire a presión, conseguindo un movemento de fricción case nulo.
Principio do rolamento de aire
Os rolamentos de aire funcionan introducindo aire comprimido entre dúas superficies, formando unha película de aire de 2–20 μm.
Isto elimina:
- fricción mecánica
- Desgaste
- Comportamento de deslizamento de paus
O sistema baséase na dinámica de películas de fluídos e no fluxo laminar estable.
Papel do granito
O granito proporciona:
- Estabilidade estrutural
- Supresión da deriva térmica
- Amortiguación de vibracións
Serve como base de referencia mecánica para o sistema de movemento.
Compoñentes do sistema
- Base de granito
- Almofadas de rodamentos de aire
- Sistema de subministración de aire
- Encoders de precisión
- Sistema de control de movemento
Características de rendemento
O rendemento típico inclúe:
- Precisión de posicionamento submicrónica
- Alta rectitude en longos percorridos
- Cero xogo mecánico
As principais fontes de erro inclúen a inestabilidade da presión do aire, a deriva térmica e o erro do codificador.
Aplicacións
- Inspección de obleas de semicondutores
- Sistemas de litografía
- Plataformas de aliñamento óptico
- Máquinas de metroloxía de alta gama
Preguntas frecuentes
Desgástanse os rodamentos de aire?
A ausencia de contacto mecánico elimina o desgaste.
Por que usar granito?
Para a estabilidade e a amortiguación de vibracións.
Que limita a precisión?
Estabilidade do aire e efectos térmicos.
Poden transportar cargas pesadas?
Si, dependendo do deseño.
Data de publicación: 03-07-2026