A medida que a industria dos semicondutores busca agresivamente nodos de proceso de menos de 2 nm, a marxe de erro mecánico practicamente desapareceu. Neste ambiente de alto risco, a estabilidade da cámara de proceso xa non é unha preocupación secundaria; é o principal obstáculo para o rendemento. En ZHHIMG, estamos a observar un cambio fundamental na forma en que os fabricantes de equipos orixinais globais abordan a integridade estrutural dos equipos de capital semicondutores.
A física do silencio: técnicas avanzadas de amortiguación de vibracións
Na fabricación moderna de obleas, as vibracións que antes se consideraban "ruído de fondo" agora son catastróficas. Xa sexan as microoscilacións do sistema de climatización dunha instalación ou a inercia interna dunha etapa de dixitalización de alta velocidade, a enerxía descontrolada tradúcese directamente en erros de superposición e patróns borrosos.
As técnicas actuais de amortiguación de vibracións na fabricación de semicondutores evolucionaron cara a unha arquitectura multicapa. Aínda que a amortiguación pasiva (que utiliza materiais de gran masa como a fundición mineral ou o granito de precisión) segue sendo a base, estamos a ver un aumento na integración da amortiguación activa.
Os sistemas activos utilizan actuadores piezoeléctricos e sensores en tempo real para "cancelar" as vibracións xerando contrafrecuencias. Non obstante, a eficacia dos sistemas activos está inherentemente limitada pola relación de amortiguación do material base. Aquí é onde a experiencia de ZHHIMG en materiais estruturais de alta amortiguación se volve fundamental. Ao combinar electrónica activa cunha base de granito ou composto naturalmente inerte, proporcionamos unha "Zona silenciosa" onde o nanoposicionamento pode producirse sen interferencias.
O auxe do movemento sen fricción: tecnoloxía de rolamentos de aire
A demanda dun maior rendemento levou os rolamentos mecánicos tradicionais aos seus límites. A fricción produce calor, e a calor produce expansión térmica, o inimigo da precisión. Isto levou á adopción xeneralizada detecnoloxía de rodamentos de aire para etapas de precisión.
Os rolamentos de aire soportan unha carga sobre unha fina película de aire presurizado, normalmente de só uns poucos micróns de espesor. Debido a que non hai contacto físico, non hai fricción estática (stricción). Isto permite:
-
Movemento sen histérese: garante que a plataforma volva á mesma coordenada nanométrica cada vez.
-
Constancia de velocidade: fundamental para aplicacións de dixitalización como a inspección por feixe de electrones, onde mesmo o máis mínimo "engrenaxe" dun rodamento mecánico distorsionaría a imaxe.
-
Lonxevidade extrema: ao non ter pezas en contacto, non hai desgaste nin xeración de partículas, o que os fai ideais para ambientes de salas limpas de clase 1.
En ZHHIMG, fabricamos as superficies de granito ultraplanas que serven como guías para estes coxíns de aire. Para que funcionen correctamente, estas superficies deben ser lapeadas ata unha planitude medida en fraccións dunha lonxitude de onda da luz.
Tendencias en bens de capital semicondutores: 2026 e máis alá
A medida que avanzamos cara ao ano 2026, otendencias nos bens de capital de semicondutorescaracterízanse polos "Tres Piares": Modularización, Sostibilidade e Control Térmico.
-
Deseño de plataforma modular: os fabricantes de equipos orixinais (OEM) buscan módulos base "conectables e listos para usar". En lugar de deseñar unha nova base para cada ferramenta, utilizan bases de precisión estandarizadas ZHHIMG que se poden adaptar para litografía, metroloxía ou gravado.
-
Xestión térmica: Dado que as fontes de luz EUV (ultravioleta extrema) xeran unha calor inmensa, a base da máquina debe actuar como un disipador de calor masivo. Estamos a integrar canles de refrixeración complexas directamente nos nosos compoñentes minerais e de granito para manter un delta de $<0,01^\circ\text{C}$.
-
Compatibilidade co baleiro: Con máis procesos que se trasladan a contornas de alto baleiro, os materiais empregados deben ter cero desgasificación. O noso procesamento especializado de granito e cerámica garante que a integridade do baleiro nunca se vexa comprometida pola cimentación estrutural.
Asociación estratéxica con ZHHIMG
ZHHIMG non é simplemente un fabricante de compoñentes; somos un socio estratéxico na cadea de subministración de control de movemento. As nosas instalacións na China traballan en estreita coordinación cos equipos de enxeñería de Silicon Valley e Eindhoven para resolver os desafíos de estabilidade máis difíciles da industria.
Aproveitando as nosas técnicas de lapeado patentadas e o noso profundo coñecemento detécnicas de amortiguación de vibracións, permitimos aos nosos clientes ampliar os límites da Lei de Moore. Tanto se estás a desenvolver unha ferramenta ALD (Deposición de Capas Atómicas) de próxima xeración como unha sonda de obleas de alta velocidade, a base comeza con ZHHIMG.
Conclusión
A evolución da fabricación de semicondutores é unha carreira contra as leis da física. A medida que a industria se achega ao 2026, o foco na precisión dos rolamentos de aire e na amortiguación avanzada só se intensificará. Manterse á vangarda destas tendencias require unha base, tanto literal como figurativamente, baseada na experiencia e na innovación.
Data de publicación: 26 de xaneiro de 2026