Na cadea precisa da fabricación de semicondutores, o sistema de transferencia de obleas é como a "línea de vida da liña de produción de chips", e a súa estabilidade e precisión determinan directamente a taxa de rendemento dos chips. A nova xeración de sistemas de transferencia de obleas combina revolucionariamente motores lineais con bases de granito, e as vantaxes únicas dos materiais de granito son precisamente o código central para desbloquear a transmisión de alto rendemento.
Base de granito: construíndo unha "base sólida como unha rocha" para unha transmisión estable
O granito, tras sufrir centos de millóns de anos de refinamento xeolóxico, presenta unha cristalización mineral interna densa e uniforme. Esta característica natural convérteo nun material base ideal para sistemas de transferencia de obleas. No complexo ambiente das salas limpas de semicondutores, o granito, co seu coeficiente de expansión térmica ultrabaixo (só 5-7 ×10⁻⁶/℃), pode resistir a calor xerada durante o funcionamento do equipo e a influencia dos cambios de temperatura ambiental, garantindo a estabilidade do tamaño da base e evitando a desviación da ruta de transmisión causada pola deformación térmica. O seu excelente rendemento de amortiguación de vibracións pode absorber rapidamente as vibracións mecánicas xeradas durante o arranque, o apagado e a aceleración dos motores lineais, así como as interferencias externas provocadas polo funcionamento doutros equipos no taller, proporcionando unha plataforma estable con "vibración cero" para a transmisión da oblea.
Mentres tanto, a estabilidade química do granito garante que non se corroa nin se oxida nos talleres de semicondutores onde os reactivos ácidos e alcalinos son volátiles e se require unha alta limpeza, evitando así o impacto na precisión da transmisión debido ao envellecemento do material ou á adsorción de contaminantes. As características da superficie lisa e densa poden reducir de forma máis eficaz a adhesión do po, cumprindo os estritos estándares libres de po das salas limpas e eliminando o risco de contaminación das obleas desde a raíz.
O efecto "asociación dourada" dos motores lineais e o granito
Os motores lineais, coas súas características de ausencia de folgura de transmisión mecánica, alta aceleración e alta velocidade de resposta, dotan á transmisión de obleas das vantaxes de "rápida, precisa e estable". A base de granito proporciona unha plataforma de soporte sólida e fiable para ela. Os dous traballan xuntos para lograr un salto no rendemento. Cando o motor lineal impulsa o portador de obleas para que circule sobre a pista de base de granito, a forte rixidez e estabilidade da base garanten a transmisión eficiente da forza motriz do motor, evitando a perda de forza ou o atraso na transmisión causado pola deformación da base.
Impulsados pola demanda de precisión a nanoescala, os motores lineais poden lograr un control de desprazamento a nivel submicrónico. As características de procesamento de alta precisión das bases de granito (con erros de planitude controlados dentro de ±1 μm) coinciden perfectamente co control preciso dos motores lineais, garantindo conxuntamente que o erro de posicionamento durante a transmisión das obleas sexa inferior a ±5 μm. Tanto se se trata de traslados a alta velocidade entre varios equipos de proceso como de aparcamento preciso para a entrega das obleas, a combinación de motores lineais e bases de granito pode garantir "cero desviación e cero tremores" na transmisión das obleas.
Verificación das prácticas da industria: Mellora dobre na eficiencia e na taxa de rendemento
Despois de actualizar o seu sistema de transferencia de obleas, unha empresa líder mundial en semicondutores adoptou unha solución de motor lineal + base de granito, que aumentou a eficiencia da transferencia da oblea nun 40 %, reduciu a taxa de aparición de fallos como colisións e desprazamentos durante o proceso de transferencia nun 85 % e mellorou a taxa de rendemento global dos chips nun 6 %. Tras os datos reside a garantía da estabilidade da transmisión proporcionada pola base de granito e o efecto sinerxía de alta velocidade e precisión do motor lineal, que reduce significativamente a perda e o erro no proceso de transmisión da oblea.
Desde as propiedades dos materiais ata a fabricación de precisión, desde as vantaxes de rendemento ata a verificación práctica, a combinación de motores lineais e bases de granito redefiniu os estándares dos sistemas de transferencia de obleas. No futuro, cando a tecnoloxía de semicondutores avance cara a procesos de 3 nm e 2 nm, os materiais de granito seguramente seguirán inxectando un forte impulso no desenvolvemento da industria coas súas vantaxes irremplazables.
Data de publicación: 14 de maio de 2025