♦Alúmina (Al2O3)
As pezas cerámicas de precisión producidas por ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) poden fabricarse con materias primas cerámicas de alta pureza, 92~97 % de alúmina, 99,5 % de alúmina, >99,9 % de alúmina e prensado isostático en frío CIP. Sinterización a alta temperatura e mecanizado de precisión, precisión dimensional de ± 0,001 mm, suavidade de ata Ra0,1, temperatura de uso de ata 1600 graos. Pódense fabricar diferentes cores de cerámica segundo os requisitos dos clientes, como: negro, branco, beis, vermello escuro, etc. As pezas cerámicas de precisión producidas pola nosa empresa son resistentes ás altas temperaturas, á corrosión, ao desgaste e ao illamento, e poden usarse durante moito tempo en ambientes de alta temperatura, baleiro e gases corrosivos.
Amplamente utilizado nunha variedade de equipos de produción de semicondutores: marcos (soporte cerámico), substrato (base), brazo/ponte (manipulador), compoñentes mecánicos e rodamentos de aire cerámicos.
Nome do produto | Tubo/tubo/vara cadrada de cerámica de alúmina 99 de alta pureza | |||||
Índice | Unidade | 85 % de Al2O3 | 95 % de Al2O3 | 99 % Al2O3 | 99,5 % de Al2O3 | |
Densidade | g/cm³ | 3.3 | 3,65 | 3.8 | 3.9 | |
Absorción de auga | % | <0,1 | <0,1 | 0 | 0 | |
Temperatura sinterizada | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
Dureza | Mohs | 7 | 9 | 9 | 9 | |
Resistencia á flexión (20 ℃) | Mpa | 200 | 300 | 340 | 360 | |
Resistencia á compresión | kgf/cm2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
Temperatura de traballo a longo prazo | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
Temperatura máxima de traballo | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
Resistividade volumétrica | 20 ℃ | Ω cm³ | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
100 ℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
300 ℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 |
Aplicación de cerámica de alúmina de alta pureza:
1. Aplicado a equipos de semicondutores: mandril de baleiro cerámico, disco de corte, disco de limpeza, mandril cerámico.
2. Pezas de transferencia de obleas: mandriles para manipulación de obleas, discos de corte de obleas, discos de limpeza de obleas, ventosas para inspección óptica de obleas.
3. Industria de pantallas planas LED/LCD: boquilla cerámica, disco de amolado cerámico, PIN DE ELEVACIÓN, carril PIN.
4. Comunicación óptica, industria solar: tubos cerámicos, varillas cerámicas, raspadores cerámicos para serigrafía de placas de circuíto.
5. Pezas resistentes á calor e illantes electricamente: rolamentos cerámicos.
Na actualidade, a cerámica de óxido de aluminio pódese dividir en cerámica de alta pureza e cerámica común. A serie de cerámicas de óxido de aluminio de alta pureza refírese ao material cerámico que contén máis do 99,9 % de Al₂O₃. Debido á súa temperatura de sinterización de ata 1650-1990 °C e á súa lonxitude de onda de transmisión de 1 ~ 6 μm, adoita procesarse en vidro fundido en lugar de crisol de platino: que se pode usar como tubo de sodio debido á súa transmitancia de luz e resistencia á corrosión dos metais alcalinos. Na industria electrónica, pódese usar como material illante de alta frecuencia para substratos de CI. Segundo os diferentes contidos de óxido de aluminio, a serie cerámica común de óxido de aluminio pódese dividir en cerámica 99, cerámica 95, cerámica 90 e cerámica 85. Ás veces, as cerámicas con 80 % ou 75 % de óxido de aluminio tamén se clasifican como series cerámicas comúns de óxido de aluminio. Entre eles, o material cerámico de óxido de aluminio 99 úsase para producir crisol de alta temperatura, tubos de forno ignífugos e materiais especiais resistentes ao desgaste, como rolamentos cerámicos, selos cerámicos e placas de válvulas. A cerámica de aluminio 95 úsase principalmente como peza resistente á corrosión e ao desgaste. A cerámica 85 adoita mesturarse nalgunhas propiedades, mellorando así o rendemento eléctrico e a resistencia mecánica. Pode usar selos de molibdeno, niobio, tántalo e outros metálicos, e algúns úsanse como dispositivos de baleiro eléctricos.
Elemento de calidade (valor representativo) | Nome do produto | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
Composición química Produto de sinterización fácil con baixo contido en sodio | H₂O | % | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 |
Jajaja | % | 0,1 | 0,2 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | |
Fe₂0₃ | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
SiO₂ | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
Na₂O | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
MgO* | % | - | 0,11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
Al₂0₃ | % | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | |
Diámetro medio de partículas (MT-3300, método de análise láser) | μm | 0,44 | 0,43 | 0,39 | 0,47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
Tamaño do cristal α | μm | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
Densidade de formación** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2,35 | 2,57 | 2,56 | |
Densidade de sinterización** | g/cm³ | 3,88 | 3,93 | 3,94 | 3,93 | 3,88 | 3,77 | 3.22 | |
Taxa de contracción da liña de sinterización** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 |
* O MgO non se inclúe no cálculo da pureza do Al₂O₃.
* Po sen incrustacións 29,4 MPa (300 kg/cm²), a temperatura de sinterización é de 1600 °C.
AES-11 / 11C / 11F: Engadir 0,05 ~ 0,1 % de MgO, a sinterizabilidade é excelente, polo que é aplicable a cerámicas de óxido de aluminio cunha pureza superior ao 99 %.
AES-22S: Caracterizado por unha alta densidade de conformado e unha baixa taxa de contracción da liña de sinterización, é aplicable á fundición con moldes deslizantes e outros produtos a grande escala coa precisión dimensional requirida.
AES-23 / AES-31-03: Ten unha maior densidade de conformado, tixotropía e unha menor viscosidade que o AES-22S. O primeiro úsase en cerámica mentres que o segundo se usa como redutor de auga para materiais ignífugos, gañando popularidade.
♦Características do carburo de silicio (SiC)
Características xerais | Pureza dos compoñentes principais (%) en peso | 97 | |
Cor | Negro | ||
Densidade (g/cm³) | 3.1 | ||
Absorción de auga (%) | 0 | ||
Características mecánicas | Resistencia á flexión (MPa) | 400 | |
Módulo de Young (GPa) | 400 | ||
Dureza Vickers (GPa) | 20 | ||
Características térmicas | Temperatura máxima de funcionamento (°C) | 1600 | |
Coeficiente de expansión térmica | Temperatura ambiente ~ 500 °C | 3.9 | |
(1/°C x 10-6) | Temperatura ambiente ~ 800 °C | 4.3 | |
Condutividade térmica (W/m x K) | 130 110 | ||
Resistencia ao choque térmico ΔT (°C) | 300 | ||
Características eléctricas | resistividade volumétrica | 25 °C | 3 x 106 |
300 °C | - | ||
500 °C | - | ||
800 °C | - | ||
Constante dieléctrica | 10 GHz | - | |
Perda dieléctrica (x 10-4) | - | ||
Factor Q (x 10⁴) | - | ||
Tensión de ruptura dieléctrica (KV/mm) | - |
♦Cerámica de nitruro de silicio
Material | Unidade | Si₃N₄ |
Método de sinterización | - | Sinterizado a presión de gas |
Densidade | g/cm³ | 3.22 |
Cor | - | Gris escuro |
Taxa de absorción de auga | % | 0 |
Módulo de Young | GPA | 290 |
Dureza Vickers | GPA | 18 - 20 |
Resistencia á compresión | Mpa | 2200 |
Resistencia á flexión | Mpa | 650 |
Condutividade térmica | W/mK | 25 |
Resistencia ao choque térmico | Δ (°C) | 450 - 650 |
Temperatura máxima de funcionamento | °C | 1200 |
Resistividade volumétrica | Ω·cm | > 10 ^ 14 |
Constante dieléctrica | - | 8.2 |
Rixidez dieléctrica | kV/mm | 16 |