♦ Alumina (Al2O3)
As pezas de cerámica de precisión producidas polo grupo de fabricación intelixente de Zhonghui (ZHHIMG) pódense facer de materias primas cerámicas de alta pureza, 92 ~ 97% de alúmina, 99,5% de alúmina,> 99,9% de alúmina e prensa isostática CIP. Sinterización de alta temperatura e mecanizado de precisión, precisión dimensional de ± 0,001 mm, suavidade ata RA0.1, usa temperatura ata 1600 graos. Pódense facer diferentes cores de cerámica segundo as necesidades dos clientes, como: negro, branco, beige, vermello escuro, etc. As pezas de cerámica de precisión producidas pola nosa empresa son resistentes a alta temperatura, corrosión, desgaste e illamento, e pódense usar durante moito tempo en ambiente de alta temperatura, baleiro e gas.
Amplamente usado nunha variedade de equipos de produción de semiconductores: marcos (soporte cerámico), substrato (base), brazo/ ponte (manipulador), compoñentes mecánicos e rodamento de aire cerámico.
Nome do produto | Alta pureza 99 Tubo cadrado de cerámica de cerámica de alumina / tubo / vara | |||||
Índice | Unidade | 85 % AL2O3 | 95 % AL2O3 | 99 % AL2O3 | 99,5 % AL2O3 | |
Densidade | g/cm3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
Absorción de auga | % | <0,1 | <0,1 | 0 | 0 | |
Temperatura sinterizada | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
Dureza | Mohs | 7 | 9 | 9 | 9 | |
Forza de flexión (20 ℃)) | MPA | 200 | 300 | 340 | 360 | |
Forza de compresión | KGF/CM2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
Temperatura de traballo de moito tempo | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
Máx. Temperatura de traballo | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
Resistividade do volume | 20 ℃ | Ω. CM3 | > 1013 | > 1013 | > 1013 | > 1013 |
100 ℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
300 ℃ | > 109 | > 1010 | > 1012 | > 1012 |
Aplicación de cerámica de Alumina de alta pureza:
1. Aplicado a equipos de semiconductores: Chuck de baleiro de cerámica, disco de corte, disco de limpeza, chuck de cerámica.
2. Pezas de transferencia de obleas: manipulación de obleas, discos de corte de oblea, discos de limpeza de obleas, cuncas de succión de inspección óptica de oblea.
3. LED / LCD Panel plano Industria: boquilla de cerámica, disco de moenda de cerámica, pasador de elevación, carril de pin.
4. Comunicación óptica, industria solar: tubos de cerámica, barras de cerámica, raspadores de cerámica de impresión de placa de circuíto.
5. Pezas resistentes ao calor e illantes eléctricamente: rodamentos de cerámica.
Na actualidade, a cerámica de óxido de aluminio pódese dividir en alta pureza e cerámica común. A serie de cerámica de óxido de aluminio de alta pureza refírese ao material cerámico que contén máis do 99,9% de Al₂o₃. Debido á súa temperatura de sinterización de ata 1650 - 1990 ° C e a súa lonxitude de onda de transmisión de 1 ~ 6μm, normalmente é procesada en vidro fundido en lugar do crisol de platino: que se pode usar como tubo de sodio debido á súa transmisión lixeira e á resistencia á corrosión ao metal alcalí. Na industria electrónica, pódese usar como material illante de alta frecuencia para substratos IC. Segundo diferentes contidos de óxido de aluminio, a serie común de cerámica de óxido de aluminio pódese dividir en 99 cerámica, 95 cerámica, 90 cerámica e 85 cerámica. Ás veces, a cerámica cun 80% ou 75% do óxido de aluminio tamén se clasifica como serie común de cerámica de óxido de aluminio. Entre eles, úsase 99 material cerámico de óxido de aluminio para producir un crisol de alta temperatura, tubo de forno a proba de lume e materiais especiais resistentes ao desgaste, como rodamentos de cerámica, selos de cerámica e placas de válvulas. 95 A cerámica de aluminio úsase principalmente como parte resistente ao desgaste resistente á corrosión. 85 A cerámica adoita mesturarse nalgunhas propiedades, mellorando así o rendemento eléctrico e a resistencia mecánica. Pode usar molibdeno, niobio, tantalum e outros selos metálicos, e algúns úsanse como dispositivos eléctricos de baleiro.
Elemento de calidade (valor representativo) | Nome do produto | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22s | AES-23 | AL-31-03 | |
Composición química Produto de sinterización de baixo sodio | H₂o | % | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 |
LOL | % | 0,1 | 0,2 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | |
Fe₂0₃ | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
Sio₂ | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
Na₂o | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
MGO* | % | - | 0,11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
Al₂0₃ | % | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | |
Diámetro de partícula media (MT-3300, método de análise láser) | μm | 0,44 | 0,43 | 0,39 | 0,47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
Tamaño de cristal α | μm | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
Formando densidade ** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
Densidade de sinterización ** | g/cm³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
Taxa reducida da liña de sinterización ** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 |
* MGO non está incluído no cálculo da pureza de Al₂o₃.
* Non hai po de escalado 29,4MPA (300 kg/cm²), a temperatura de sinterización é de 1600 ° C.
AES-11 / 11C / 11F: engade 0,05 ~ 0,1% MGO, a sinterabilidade é excelente, polo que é aplicable á cerámica de óxido de aluminio coa pureza superior ao 99%.
AES-22S: caracterizado por alta densidade de formación e baixa taxa de encollemento da liña de sinterización, é aplicable ao fundido de forma deslizante e a outros produtos a gran escala con precisión dimensional requirida.
AES-23 / AES-31-03: ten unha maior densidade de formación, tixropía e unha menor viscosidade que AES-22s. O primeiro úsase á cerámica mentres que o segundo úsase como reductor de auga para materiais de proba de lume, gañando popularidade.
♦ Características de carburo de silicio (sic)
Características xerais | Pureza dos compoñentes principais (%en peso) | 97 | |
Cor | Negro | ||
Densidade (g/cm³) | 3.1 | ||
Absorción de auga (%) | 0 | ||
Características mecánicas | Forza de flexión (MPA) | 400 | |
Módulo novo (GPA) | 400 | ||
Vickers Hardness (GPA) | 20 | ||
Características térmicas | Temperatura máxima de funcionamento (° C) | 1600 | |
Coeficiente de expansión térmica | RT ~ 500 ° C. | 3.9 | |
(1/° C x 10-6) | RT ~ 800 ° C. | 4.3 | |
Condutividade térmica (w/m x k) | 130 110 | ||
Resistencia ao choque térmico Δt (° C) | 300 | ||
Características eléctricas | Resistividade do volume | 25 ° C. | 3 x 106 |
300 ° C. | - | ||
500 ° C. | - | ||
800 ° C. | - | ||
Constante dieléctrica | 10GHz | - | |
Perda dieléctrica (x 10-4) | - | ||
Q factor (x 104) | - | ||
Tensión de desglose dieléctrico (KV/mm) | - |
♦ cerámica de nitruro de silicio
Material | Unidade | Si₃n₄ |
Método de sinterización | - | A presión de gas sinteríase |
Densidade | g/cm³ | 3.22 |
Cor | - | Gris escuro |
Taxa de absorción de auga | % | 0 |
Módulo novo | GPA | 290 |
Dureza de Vickers | GPA | 18 - 20 |
Forza de compresión | MPA | 2200 |
Forza de flexión | MPA | 650 |
Condutividade térmica | W/mk | 25 |
Resistencia ao choque térmico | Δ (° C) | 450 - 650 |
Temperatura máxima de funcionamento | ° C. | 1200 |
Resistividade do volume | Ω · cm | > 10 ^ 14 |
Constante dieléctrica | - | 8.2 |
Forza dieléctrica | KV/mm | 16 |