O granito é un material popular na industria do procesamento de obleas debido ás súas excepcionais propiedades mecánicas e á durabilidade. É unha pedra natural que se extrae de canteiras en todo o mundo e que se usa durante séculos con diversos fins de construción, incluída a fabricación de equipos de semiconductores. Neste artigo, discutiremos as propiedades do granito e as súas diversas aplicacións nos equipos de procesamento de obleas.
Propiedades do granito
O granito é unha rocha ígna que está composta por mica, feldespato e cuarzo. É coñecido pola súa forza excepcional, dureza e durabilidade, converténdoo nun material ideal para aplicacións que requiran unha alta precisión e precisión. O granito ten un baixo coeficiente de expansión térmica, o que significa que non se expanda nin se contrae debido aos cambios de temperatura, tornándoo altamente estable. Ademais, o granito é resistente á corrosión e aos produtos químicos, o que o converte nun material ideal para o seu uso en ambientes duros.
Aplicacións de granito en equipos de procesamento de obleas
O granito é un material moi utilizado na industria do procesamento de obleas debido á súa única combinación de propiedades. A continuación móstranse algunhas das aplicacións de granito nos equipos de procesamento de obleas:
1. Ferramentas de metroloxía
O granito úsase habitualmente na fabricación de ferramentas de metroloxía, como máquinas de medición de coordenadas (CMMs) e sistemas de medida óptica. Estas ferramentas requiren superficies estables que poidan resistir as vibracións e a calor. A alta rixidez e baixa expansión térmica do granito convérteno nun material ideal para tales aplicacións.
2. Chucks de oblea
Os chucks de oblea úsanse para manter as obleas durante o proceso de fabricación. Estes chucks requiren unha superficie plana e estable para evitar que a oblea se deforme ou se flúa. O granito proporciona unha superficie plana altamente estable e resistente á deformación, o que o converte nun material excelente para os chucks de obleas.
3. Ferramentas de pulido mecánico químico (CMP)
As ferramentas CMP úsanse para pulir as obleas durante o proceso de fabricación. Estas ferramentas requiren unha plataforma estable que poida resistir as vibracións e a calor. A excelente rixidez e baixa expansión térmica do granito convérteno nun material ideal para as ferramentas CMP.
4. Equipo de inspección de obleas
Os equipos de inspección da oblea úsanse para inspeccionar as obleas para defectos e defectos. Estas ferramentas requiren unha superficie estable e plana para garantir medicións precisas. O granito proporciona unha superficie estable e plana resistente ao deformación, o que o converte nun material ideal para equipos de inspección de obleas.
Conclusión
En conclusión, o granito é un material moi utilizado na industria do procesamento de obleas debido ás súas excepcionais propiedades mecánicas e durabilidade. Úsase habitualmente na fabricación de ferramentas de metroloxía, chucks de oblea, ferramentas CMP e equipos de inspección de obleas. A combinación única de propiedades convérteo nun material ideal para aplicacións que requiren unha alta precisión e precisión. Cos seus moitos beneficios, o granito segue sendo unha elección popular para os equipos de procesamento de obleas e é probable que o seu uso continúe crecendo no futuro.
Tempo de publicación: Decembro 27-2023