Que é o granito que se usa nos equipos de procesamento de obleas?

O granito é un material popular na industria de procesamento de obleas debido ás súas excepcionais propiedades mecánicas e durabilidade. É unha pedra natural que se extrae de canteiras de todo o mundo e que se utilizou durante séculos para diversos fins de construción, incluída a fabricación de equipos semicondutores. Neste artigo, analizaremos as propiedades do granito e as súas diversas aplicacións nos equipos de procesamento de obleas.

Propiedades do granito

O granito é unha rocha ígnea composta de mica, feldespato e cuarzo. É coñecido pola súa excepcional resistencia, dureza e durabilidade, o que o converte nun material ideal para aplicacións que requiren alta precisión e exactitude. O granito ten un baixo coeficiente de expansión térmica, o que significa que non se expande nin se contrae debido aos cambios de temperatura, o que o fai moi estable. Ademais, o granito é resistente á corrosión e aos produtos químicos, o que o converte nun material ideal para o seu uso en ambientes agresivos.

Aplicacións do granito en equipos de procesamento de obleas

O granito é un material amplamente utilizado na industria de procesamento de obleas debido á súa combinación única de propiedades. Algunhas das aplicacións do granito nos equipos de procesamento de obleas son as seguintes:

1. Ferramentas de metroloxía

O granito úsase habitualmente na fabricación de ferramentas de metroloxía, como as máquinas de medición por coordenadas (CMM) e os sistemas de medición óptica. Estas ferramentas requiren superficies estables que poidan resistir as vibracións e a calor. A alta rixidez e a baixa expansión térmica do granito convérteno nun material ideal para tales aplicacións.

2. Mandriles para obleas

Os mandriles para obleas utilízanse para suxeitar as obleas durante o proceso de fabricación. Estes mandriles requiren unha superficie plana e estable para evitar que a oblea se deforme ou doble. O granito proporciona unha superficie plana que é moi estable e resistente á deformación, o que o converte nun excelente material para os mandriles para obleas.

3. Ferramentas de pulido químico-mecánico (CMP)

As ferramentas CMP utilízanse para puír obleas durante o proceso de fabricación. Estas ferramentas requiren unha plataforma estable que poida resistir as vibracións e a calor. A excelente rixidez e a baixa expansión térmica do granito convérteno nun material ideal para as ferramentas CMP.

4. Equipo de inspección de obleas

O equipo de inspección de obleas utilízase para inspeccionar as obleas en busca de defectos e imperfeccións. Estas ferramentas requiren unha superficie estable e plana para garantir medicións precisas. O granito proporciona unha superficie estable e plana que é resistente á deformación, o que o converte nun material ideal para equipos de inspección de obleas.

Conclusión

En conclusión, o granito é un material amplamente utilizado na industria do procesamento de obleas debido ás súas excepcionais propiedades mecánicas e durabilidade. Úsase habitualmente na fabricación de ferramentas de metroloxía, mandriles para obleas, ferramentas CMP e equipos de inspección de obleas. A combinación única de propiedades convérteo nun material ideal para aplicacións que requiren alta precisión e exactitude. Coas súas moitas vantaxes, o granito segue sendo unha opción popular para os equipos de procesamento de obleas e é probable que o seu uso siga crecendo no futuro.

granito de precisión37


Data de publicación: 27 de decembro de 2023