Fabricación de semicondutores
Litografía: A litografía é un proceso clave na fabricación de semicondutores que require a transferencia precisa de patróns de circuítos complexos a obleas. A plataforma de movemento de illamento de vibracións activo de precisión XYT sobre a base de granito pode proporcionar un soporte estable e un posicionamento preciso para o equipo de litografía, garantindo que a precisión da posición da mesa da oblea no proceso de exposición alcance o nivel nanométrico, reducindo eficazmente a desviación do patrón causada pola vibración e a deformación térmica e mellorando a precisión de fabricación e o rendemento do chip.
Inspección da oblea: Unha vez finalizada a fabricación da oblea, é necesario inspeccionala con alta precisión para atopar pequenos defectos e defectos. A plataforma de movemento de illamento de vibracións activo de precisión XYT pode transportar equipos de detección, como microscopio de feixe electrónico, microscopio de forza atómica, etc., para manter un movemento estable e un posicionamento preciso durante o proceso de detección, de xeito que o equipo de detección poida escanear con precisión a superficie da oblea, mellorar a resolución e a precisión da detección.
Fabricación de instrumentos ópticos
Esmerilado e pulido de lentes: No proceso de fabricación de lentes ópticas, é necesario esmerilar e pulir as lentes con alta precisión para obter boas propiedades ópticas. A plataforma de movemento de illamento de vibracións activo de precisión XYT pode controlar con precisión a traxectoria de movemento das ferramentas de esmerilado e pulido, mentres que a base de granito pode illar as vibracións externas, reducir o impacto das vibracións na precisión do mecanizado e garantir que a planitude e o acabado da superficie da lente cumpran cos requisitos de deseño.
Montaxe do sistema óptico: No proceso de montaxe do sistema óptico, varios compoñentes ópticos deben instalarse con precisión nunha posición específica para garantir a propagación precisa da luz e a calidade da imaxe. A plataforma de movemento de illamento de vibracións activo de precisión XYT con base de granito pode proporcionar unha plataforma estable para a instalación e o axuste de compoñentes ópticos e lograr un aliñamento e montaxe de alta precisión dos compoñentes ópticos mediante un control de movemento preciso.
aeroespacial
Proba do sistema de navegación inercial: o sistema de navegación inercial é un equipo de navegación importante no campo aeroespacial, e a súa precisión afecta directamente á precisión da navegación e á seguridade do voo das aeronaves. No proceso de proba do sistema de navegación inercial, é necesario usar unha plataforma xiratoria de alta precisión para simular varios estados de movemento da aeronave. A plataforma de movemento de illamento de vibracións activo de precisión XYT pódese usar como plataforma de soporte para a mesa xiratoria. Mediante un control de movemento preciso e un bo rendemento de illamento de vibracións, proporciona un ambiente de movemento estable e preciso para a proba do sistema de navegación inercial e mellora a precisión e a fiabilidade da proba.
Mecanizado de pás de motor aeronáutico: A precisión do mecanizado da pá dun motor aeronáutico ten un impacto importante no rendemento e a eficiencia do motor. A plataforma de movemento de illamento de vibracións activo de precisión XYT pódese aplicar ao proceso de mecanizado da pá, como o centro de mecanizado de cinco eixes, controlando con precisión a traxectoria de movemento da ferramenta e mantendo un ambiente de procesamento estable, para lograr un mecanizado de alta precisión da pá, para garantir que a precisión do perfil da pá e a calidade da superficie cumpran cos requisitos de deseño.
Probas de investigación científica
Investigación en nanociencia: Na investigación en nanociencia, é necesario operar e observar obxectos a nanoescala, como a preparación de nanomateriais e a montaxe de nanodispositivos. A base de granito da plataforma de movemento de illamento de vibracións activo de precisión XYT pode proporcionar unha precisión de posicionamento submicrónica ou incluso a nivel nanométrico, proporcionar unha plataforma experimental estable e precisa para a investigación nanocientífica e axudar aos científicos a explorar mellor os misterios do nanomundo.
Imaxe biomédica: No campo biomédico, como a microscopía de fluorescencia, a microscopía confocal e outros dispositivos de imaxe, para obter imaxes biolóxicas de alta resolución requírese un posicionamento preciso e unha imaxe estable da mostra. A plataforma de movemento de illamento de vibracións activo de precisión XYT pode transportar mostras biolóxicas, reducir a vibración e a deriva das mostras mediante un control de movemento preciso e un bo rendemento de illamento de vibracións, mellorar a calidade e a precisión das imaxes e axudar aos investigadores biomédicos a realizar investigacións en profundidade sobre células, tecidos e outras estruturas microscópicas.
Data de publicación: 11 de abril de 2025