Os compoñentes de granito foron amplamente utilizados no proceso de fabricación de semicondutores debido ás súas excelentes características, como o acabado superficial superior, a alta rixidez e a excelente amortiguación das vibracións.Os compoñentes de granito son esenciais para os equipos de fabricación de semicondutores, incluíndo máquinas de litografía, máquinas de pulido e sistemas de metroloxía, xa que proporcionan un posicionamento de precisión e estabilidade durante o proceso de fabricación.A pesar de todas as vantaxes do uso de compoñentes de granito, tamén teñen defectos.Neste artigo, discutiremos os defectos dos compoñentes de granito para os produtos do proceso de fabricación de semicondutores.
En primeiro lugar, os compoñentes de granito teñen un alto coeficiente de expansión térmica.Significa que se expanden significativamente baixo estrés térmico, o que pode causar problemas durante o proceso de fabricación.O proceso de fabricación de semicondutores require unha alta precisión e precisión dimensional que podería verse comprometida debido ao estrés térmico.Por exemplo, a deformación da oblea de silicio debido á expansión térmica podería causar problemas de aliñamento durante a litografía, o que podería comprometer a calidade do dispositivo semicondutor.
En segundo lugar, os compoñentes de granito teñen defectos de porosidade que poden provocar fugas de baleiro no proceso de fabricación de semicondutores.A presenza de aire ou calquera outro gas no sistema pode causar contaminación na superficie da oblea, producindo defectos que poidan afectar o rendemento do dispositivo semicondutor.Os gases inertes como o argón e o helio poden filtrarse nos compoñentes porosos do granito e crear burbullas de gas que poden interferir coa integridade do proceso de baleiro.
En terceiro lugar, os compoñentes de granito teñen microfracturas que poden interferir coa precisión do proceso de fabricación.O granito é un material quebradizo que pode desenvolver microfracturas ao longo do tempo, especialmente cando se expón a ciclos de tensión constantes.A presenza de microfracturas pode provocar inestabilidade dimensional, causando problemas significativos durante o proceso de fabricación, como o aliñamento da litografía ou o pulido de obleas.
En cuarto lugar, os compoñentes de granito teñen unha flexibilidade limitada.O proceso de fabricación de semicondutores require equipos flexibles que poidan acomodar diferentes cambios de proceso.Non obstante, os compoñentes do granito son ríxidos e non se poden adaptar aos diferentes cambios de proceso.Polo tanto, calquera cambio no proceso de fabricación require a eliminación ou substitución dos compoñentes de granito, o que provoca tempo de inactividade e afecta a produtividade.
En quinto lugar, os compoñentes de granito requiren unha manipulación e un transporte especiais debido ao seu peso e fraxilidade.O granito é un material denso e pesado que require equipos de manipulación especializados, como guindastres e elevadores.Ademais, os compoñentes de granito requiren un embalaxe e un transporte coidadosos para evitar danos durante o envío, o que supón custos e tempo adicionais.
En conclusión, os compoñentes de granito teñen algúns inconvenientes que poden afectar á calidade e produtividade dos produtos do proceso de fabricación de semicondutores.Estes defectos poderían minimizarse mediante unha manipulación e mantemento coidadosos dos compoñentes do granito, incluíndo a inspección periódica de microfracturas e defectos de porosidade, unha limpeza adecuada para evitar a contaminación e un manexo coidadoso durante o transporte.A pesar dos defectos, os compoñentes de granito seguen sendo unha parte vital do proceso de fabricación de semicondutores debido ao seu acabado superficial superior, a súa elevada rixidez e a excelente amortiguación das vibracións.
Hora de publicación: Dec-05-2023