O campo de aplicación do módulo de movemento de ultraprecisión de flotador de aire dun só eixo con base de granito.

Fabricación de semicondutores: No proceso de fabricación de chips, o proceso de fotolitografía necesita transferir o patrón do circuíto con precisión á oblea. A base de granito do módulo de movemento de ultraprecisión flotante de aire dun só eixo pode proporcionar un posicionamento de alta precisión e un soporte estable para a mesa da oblea no equipo de litografía. Por exemplo, ASML e outros fabricantes de máquinas de litografía de renome internacional utilizan módulos de movemento flotante de aire con base de granito nos seus equipos de alta gama, que poden controlar a precisión do posicionamento da oblea a nivel nanométrico para garantir a precisión do patrón de litografía, mellorando así a integración e o rendemento do chip.
Campo da medición de precisión: a CMM é un equipo de medición de precisión que se emprega habitualmente na produción industrial e que se emprega para medir o tamaño, a forma e a precisión da posición da peza. O módulo de movemento de ultraprecisión do flotador de aire dun só eixo sobre a base de granito pódese empregar como plataforma de movemento da CMM, que pode realizar un movemento lineal de alta precisión e proporcionar unha traxectoria de movemento estable para a sonda de medición. Por exemplo, a CMM de gama alta de Hexagon usa esta combinación para medir pezas grandes e complexas cunha precisión de medición de ata o nivel de micras, o que proporciona unha forte garantía para o control de calidade das pezas nas industrias automotriz, aeroespacial e outras.
Campo aeroespacial: No procesamento e probas de pezas aeroespaciais, requírese unha alta precisión. Por exemplo, o mecanizado de pás de motores de avións require un control preciso da traxectoria de movemento da ferramenta para garantir a precisión do perfil da pá. A base de granito do módulo de movemento de ultraprecisión de flotación de aire dun só eixe pódese aplicar ao centro de mecanizado de cinco eixes e a outros equipos para proporcionar un control de movemento de alta precisión para a ferramenta e garantir que a precisión do mecanizado da pá poida cumprir os requisitos de deseño. Ao mesmo tempo, no proceso de montaxe do motor aeronáutico, tamén é necesario usar equipos de medición de alta precisión para detectar a precisión de montaxe das pezas. O módulo de movemento de flotación de aire da base de granito pode proporcionar un soporte estable e un movemento preciso para o equipo de medición para garantir a calidade da montaxe.
Campo da inspección óptica: No proceso de fabricación e probas de compoñentes ópticos, é necesario realizar un posicionamento e medición de alta precisión dos compoñentes ópticos. Por exemplo, ao fabricar compoñentes ópticos de alta precisión, como espellos e lentes, é necesario usar interferómetros e outros equipos para detectar a precisión da forma da superficie. A base de granito do módulo de movemento de ultraprecisión flotante de aire dun só eixo pódese usar como plataforma de movemento do interferómetro, que pode lograr unha precisión de posicionamento submicrónica e proporcionar soporte de datos preciso para a detección de compoñentes ópticos. Ademais, no equipo de procesamento láser, tamén é necesario usar unha plataforma de movemento de alta precisión para controlar a traxectoria de dixitalización do feixe láser, a base de granito do módulo de movemento flotante de aire pode cumprir este requisito, para lograr un procesamento láser de alta precisión.