Na industria dos semicondutores, a inspección de obleas é un elo fundamental para garantir a calidade e o rendemento do chip, e a precisión e a estabilidade da mesa de inspección xogan un papel decisivo nos resultados da detección. A base de granito, coas súas características únicas, convértese na opción ideal para a mesa de inspección de obleas de semicondutores, o seguinte da análise multidimensional para vostede.
En primeiro lugar, a dimensión da garantía de precisión
1. Planitude e rectitude ultraaltas: a base de granito está procesada mediante tecnoloxía de procesamento avanzada, e a planitude pode alcanzar ±0,001 mm/m ou incluso unha precisión maior, e a rectitude tamén é excelente. No proceso de inspección de obleas, o plano de alta precisión proporciona un soporte estable para a oblea e garante un contacto preciso entre a sonda do equipo de inspección e as unións de soldadura na superficie da oblea.
2. Coeficiente de expansión térmica moi baixo: a fabricación de semicondutores é sensible aos cambios de temperatura e o coeficiente de expansión térmica do granito é extremadamente baixo, normalmente duns 5 × 10⁻⁶/℃. Cando a plataforma de detección está en funcionamento, mesmo se a temperatura ambiente flutúa, o tamaño da base de granito varía moi pouco. Por exemplo, no taller de alta temperatura no verán, a temperatura da plataforma de detección de base metálica común pode provocar que a posición relativa da oblea e o equipo de detección se despracen, o que afecta á precisión da detección; a plataforma de detección de base de granito pode manter a estabilidade, garantir a precisión da posición relativa da oblea e o equipo de detección durante o proceso de detección e proporcionar un ambiente estable para unha detección de alta precisión.
En segundo lugar, a dimensión de estabilidade
1. Estrutura estable e resistencia ás vibracións: Tras millóns de anos de procesos xeolóxicos, a estrutura interna do granito é densa e uniforme. No complexo ambiente dunha fábrica de semicondutores, a vibración xerada polo funcionamento dos equipos periféricos e o persoal que circula polos arredores aténuase eficazmente pola base de granito.
2. Precisión de uso a longo prazo: en comparación con outros materiais, o granito ten unha alta dureza, unha forte resistencia ao desgaste e unha dureza de Mohs que pode chegar a 6-7. A superficie da base de granito non se desgasta facilmente durante as operacións frecuentes de carga, descarga e inspección de obleas. Segundo o uso real das estatísticas de datos, o uso dunha mesa de probas de base de granito, o funcionamento continuo despois de 5000 horas, a precisión de planitude e rectitude aínda se pode manter a máis do 98 % da precisión inicial, o que reduce o desgaste do equipo debido aos tempos de calibración e mantemento regulares, reduce os custos operativos empresariais e garante a estabilidade a longo prazo do traballo de proba.
Terceira dimensión, limpa e antiinterferencias
1. Baixa xeración de po: o ambiente de fabricación de semicondutores debe ser moi limpo, e o propio material de granito debe ser estable e non producir partículas de po facilmente. Durante o funcionamento da plataforma de probas, evítase que o po xerado pola base contamine a oblea, e redúcese o risco de curtocircuíto e circuíto aberto causado polas partículas de po. Na área de inspección de obleas do taller libre de po, a concentración de po arredor da mesa de inspección da base de granito sempre se controla a un nivel extremadamente baixo, cumprindo os estritos requisitos de limpeza da industria dos semicondutores.
2. Sen interferencias magnéticas: o equipo de detección é sensible ao ambiente electromagnético e o granito é un material non magnético que non interferirá co sinal electrónico do equipo de detección. No uso de detección de feixe de electróns e outras tecnoloxías de proba que requiren un ambiente electromagnético extremadamente alto, a base de granito garante a transmisión estable do sinal electrónico do equipo de detección e a precisión dos resultados da proba. Por exemplo, cando se proba o rendemento eléctrico de alta precisión da oblea, a base de granito non magnética evita as interferencias cos sinais de corrente e tensión de detección, de xeito que os datos de detección reflicten verdadeiramente as características eléctricas da oblea.
Data de publicación: 31 de marzo de 2025