Estudo sobre o limiar de influencia da flutuación da temperatura ambiente na precisión da medición dunha plataforma de precisión de granito.

No campo da medición de precisión, a plataforma de precisión de granito, coa súa excelente estabilidade, alta dureza e boa resistencia ao desgaste, converteuse no soporte de base ideal para moitos traballos de medición de alta precisión. Non obstante, as flutuacións de temperatura nos factores ambientais, como o "asasino de precisión" agochado na escuridade, teñen un impacto non desprezable na precisión da medición da plataforma de precisión de granito. É de grande importancia investigar en profundidade o limiar de influencia para garantir a precisión e a fiabilidade do traballo de medición.

Aínda que o granito é coñecido pola súa estabilidade, non é inmune aos cambios de temperatura. Os seus principais compoñentes son o cuarzo, o feldespato e outros minerais, que producen fenómenos de expansión e contracción térmica a diferentes temperaturas. Cando a temperatura ambiente aumenta, a plataforma de precisión do granito quéntase e expándese, e o tamaño da plataforma cambia lixeiramente. Cando a temperatura baixa, contrae ao seu estado orixinal. Os cambios de tamaño aparentemente pequenos poden amplificarse e converterse en factores clave que afectan os resultados das medicións en escenarios de medicións de precisión.

Tomando como exemplo o instrumento de medición por coordenadas común que coincide coa plataforma de granito, na tarefa de medición de alta precisión, os requisitos de precisión da medición adoitan alcanzar o nivel de micras ou incluso superior. Suponse que á temperatura estándar de 20 ℃, os distintos parámetros dimensionais da plataforma están nun estado ideal e pódense obter datos precisos medindo a peza. Cando a temperatura ambiente flutúa, a situación é moi diferente. Despois dun gran número de estatísticas de datos experimentais e análises teóricas, en circunstancias normais, cunha flutuación da temperatura ambiental de 1 ℃, a expansión ou contracción lineal da plataforma de precisión de granito é de aproximadamente 5-7 × 10⁻⁶/℃. Isto significa que para unha plataforma de granito cunha lonxitude de lado de 1 metro, a lonxitude do lado pode cambiar entre 5 e 7 micras se a temperatura cambia en 1 °C. Nas medicións de precisión, tal cambio de tamaño é suficiente para causar erros de medición máis alá do rango aceptable.
Para o traballo de medición requirido por diferentes niveis de precisión, o limiar de influencia da flutuación da temperatura tamén é diferente. Na medición de precisión ordinaria, como a medición do tamaño de pezas mecánicas, se o erro de medición admisible está dentro de ±20 micras, segundo o cálculo do coeficiente de expansión anterior, a flutuación da temperatura debe controlarse dentro do rango de ± 3-4 ℃, para controlar o erro de medición causado polo cambio de tamaño da plataforma a un nivel aceptable. En áreas con requisitos de alta precisión, como a medición do proceso de litografía na fabricación de chips semicondutores, o erro permítese dentro de ±1 micra, e a flutuación da temperatura debe controlarse estritamente dentro de ± 0,1-0,2 °C. Unha vez que a flutuación da temperatura supera este limiar, a expansión e contracción térmica da plataforma de granito pode causar desviacións nos resultados da medición, o que afectará o rendemento da fabricación de chips.
Para xestionar a influencia da flutuación da temperatura ambiente na precisión da medición da plataforma de precisión de granito, adoitan adoptarse moitas medidas no traballo práctico. Por exemplo, instálase un equipo de temperatura constante de alta precisión no ambiente de medición para controlar a flutuación da temperatura nun rango moi pequeno; A compensación de temperatura realízase nos datos de medición e os resultados da medición corríxense mediante un algoritmo de software segundo o coeficiente de expansión térmica da plataforma e os cambios de temperatura en tempo real. Non obstante, independentemente das medidas que se tomen, a comprensión precisa do impacto das flutuacións da temperatura ambiente na precisión da medición da plataforma de precisión de granito é a premisa para garantir un traballo de medición preciso e fiable.