En que dispositivos semicondutores, o leito de granito é o máis utilizado?

A cama de granito é un compoñente importante en varios dispositivos de semiconductores. Como material altamente estable e ríxido, o granito é moi utilizado como base para equipos de procesamento de semicondutores. Caracterízase polo seu baixo coeficiente de expansión térmica, a alta estabilidade dimensional e as excelentes propiedades mecánicas. Debido a estas propiedades, a cama de granito úsase máis comúnmente en tres tipos diferentes de dispositivos semicondutores: equipos de metroloxía, equipos de litografía e equipos de inspección.

Os equipos de metroloxía úsanse para medir e detectar as dimensións críticas dos dispositivos de semiconductores. Xoga un papel crucial no mantemento da calidade e coherencia do proceso de fabricación de semiconductores. Os equipos de metroloxía inclúen instrumentos como microscopios ópticos, microscopios electrónicos e microscopios de forza atómica (AFMS). Dado que o rendemento destes instrumentos de medición depende da súa estabilidade, precisión e resistencia ás vibracións, o granito é a elección ideal para o seu material de cama. A uniformidade e a estabilidade da cama de granito proporcionan unha plataforma estable para os instrumentos, que aumenta a súa precisión e fiabilidade.

Os equipos de litografía úsanse para facer os patróns de microchip na oblea. O proceso de litografía require un alto nivel de precisión e precisión para crear circuítos complexos e mellorar o rendemento do chip. O equipo de litografía inclúe sistemas de paso e escáner que usan luz para transferir imaxes na oblea. Como o proceso de litografía é altamente sensible ás vibracións e aos cambios térmicos, unha cama de alta calidade é esencial para garantir a estabilidade e repetibilidade do proceso de litografía. As camas de granito proporcionan a estabilidade requirida e o rendemento de amortecemento de vibracións rigorosas para os sistemas de litografía. A cama de granito permite que o sistema de paso ou escáner manteña relacións espaciais precisas garantindo unha alta precisión e calidade final do produto.

Os equipos de inspección úsanse para detectar calquera defecto nos dispositivos de semiconductores. Os equipos de inspección inclúen sistemas como microscopios de dixitalización láser, microscopios electrónicos e microscopios ópticos. A necesidade de que estes dispositivos sexan altamente precisos, estables e resistentes ás vibracións, as camas de granito son o material perfecto. As propiedades mecánicas do granito e a estabilidade dimensional axudan no illamento das vibracións, o que aumenta a precisión da saída do equipo de inspección.

En conclusión, o leito de granito é crucial para a industria dos semicondutores e é moi utilizado en diferentes tipos de equipos. As súas propiedades únicas como a estabilidade dimensional, o baixo coeficiente de expansión térmica e a excelente estabilidade mecánica fan que o granito sexa a elección ideal para o material de cama dos equipos de semiconductores. Como o leito de granito de alta calidade proporciona a estabilidade, precisión e resistencia ás vibracións aos equipos de semiconductores, finalmente mellora a calidade do produto final. Polo tanto, o uso de cama de granito en equipos de semiconductores seguramente continuará durante os próximos anos.