O leito de granito é un compoñente importante en varios dispositivos semicondutores. Como material moi estable e ríxido, o granito utilízase amplamente como base para equipos de procesamento de semicondutores. Caracterízase polo seu baixo coeficiente de expansión térmica, alta estabilidade dimensional e excelentes propiedades mecánicas. Debido a estas propiedades, o leito de granito úsase máis habitualmente en tres tipos diferentes de dispositivos semicondutores: equipos de metroloxía, equipos de litografía e equipos de inspección.
Os equipos de metroloxía utilízanse para medir e detectar as dimensións críticas dos dispositivos semicondutores. Xogan un papel crucial no mantemento da calidade e a consistencia do proceso de fabricación de semicondutores. Os equipos de metroloxía inclúen instrumentos como microscopios ópticos, microscopios electrónicos e microscopios de forza atómica (AFM). Dado que o rendemento destes instrumentos de medición depende da súa estabilidade, precisión e resistencia ás vibracións, o granito é a opción ideal para o seu material de base. A uniformidade e a estabilidade da base de granito proporcionan unha plataforma estable para os instrumentos, o que mellora a súa precisión e fiabilidade.
Os equipos de litografía utilízanse para crear os patróns do microchip na oblea. O proceso de litografía require un alto nivel de precisión e exactitude para crear circuítos complexos e mellorar o rendemento do chip. Os equipos de litografía inclúen sistemas de paso a paso e escáner que usan a luz para transferir imaxes á oblea. Dado que o proceso de litografía é moi sensible ás vibracións e aos cambios térmicos, unha cama de alta calidade é esencial para garantir a estabilidade e a repetibilidade do proceso de litografía. As camas de granito proporcionan a estabilidade necesaria e un rigoroso rendemento de amortiguación de vibracións para os sistemas de litografía. A cama de granito permite que o sistema de paso a paso ou de escáner manteña relacións espaciais precisas, garantindo unha alta precisión e calidade do produto final.
Os equipos de inspección utilízanse para detectar calquera defecto nos dispositivos semicondutores. Os equipos de inspección inclúen sistemas como microscopios de varrido láser, microscopios electrónicos e microscopios ópticos. Dada a necesidade de que estes dispositivos sexan altamente precisos, estables e resistentes ás vibracións, os leitos de granito son o material perfecto. As propiedades mecánicas e a estabilidade dimensional do granito axudan no illamento das vibracións, o que mellora a precisión da saída do equipo de inspección.
En conclusión, o leito de granito é crucial para a industria dos semicondutores e utilízase amplamente en diferentes tipos de equipos. As súas propiedades únicas, como a estabilidade dimensional, o baixo coeficiente de expansión térmica e a excelente estabilidade mecánica, fan do granito a opción ideal para o material de leito dos equipos semicondutores. Dado que o leito de granito de alta calidade proporciona a estabilidade, a precisión e a resistencia ás vibracións necesarias para os equipos semicondutores, mellora en última instancia a calidade do produto final. Polo tanto, o uso de leitos de granito en equipos semicondutores seguramente continuará nos próximos anos.
Data de publicación: 03-04-2024