Os materiais de granito son amplamente empregados na industria dos semicondutores debido ás súas excelentes características, como a alta estabilidade, a baixa expansión térmica e a alta resistencia á corrosión. Estas propiedades fan que o granito sexa un material ideal para construír compoñentes de alta precisión nun sistema de transferencia de obleas.
No proceso de fabricación de semiconductores, o sistema de transferencia de obleas xoga un papel crítico no transporte de obleas en diferentes etapas do proceso de fabricación. A precisión e a precisión son os requisitos esenciais para estes sistemas, xa que incluso pequenas desviacións poderían poñer en risco todo o proceso. Polo tanto, os compoñentes do sistema de transferencia de obleas deben facerse con materiais de alta calidade e o granito cumpre eses criterios.
Algunhas partes do sistema de transferencia de obleas feitas con materiais de granito inclúen:
1. Mesa de chuck baleiro
A mesa de chuck de baleiro úsase para manter a oblea durante o proceso e debe ter unha superficie estable para asegurarse de que a oblea non estea danada. O granito é un material ideal para facer esta táboa porque ten unha superficie plana e non porosa que proporciona alta estabilidade e precisión. Ademais, o granito ten un baixo coeficiente de expansión térmica, polo que o fai resistente aos cambios de temperatura que poden causar cambios dimensionais na oblea.
2. Etapa de soporte de aire
A etapa de soporte de aire úsase para transportar a oblea a través de diferentes etapas do proceso de fabricación. O escenario está deseñado para proporcionar un movemento sen fricción, que require alta precisión e estabilidade. O granito úsase nesta aplicación porque é unha pedra ríxida e dura, e resiste a deformación e o desgaste co paso do tempo.
3. Guías de movemento lineais
As guías de movemento lineais úsanse para guiar a etapa do aire e deben situarse con precisión para minimizar os erros. O granito úsase para construír esta guía porque ten unha excelente estabilidade e forza mecánica. O material tamén é resistente á corrosión, o que garante a lonxevidade do sistema guía.
4. Equipos de metroloxía
Os equipos de metroloxía úsanse para medir as dimensións e as propiedades da oblea durante o proceso de fabricación. O granito é un material ideal para construír este equipo porque ten alta rixidez, baixa expansión e deformación mínima baixo carga. Ademais, a estabilidade térmica do granito asegura que o equipo de metroloxía permaneza estable e preciso co paso do tempo.
En conclusión, a industria dos semiconductores depende da precisión e da precisión, e os materiais de granito demostraron ser altamente fiables e estables no proceso de fabricación. Con moitos compoñentes críticos no sistema de transferencia de obleas que requiren alta estabilidade, precisión e baixa expansión térmica, os enxeñeiros recorreron a materiais de granito para cumprir estes requisitos críticos.
Tempo de publicación: marzo 19-2024