Os materiais de granito son amplamente utilizados na industria de semicondutores debido ás súas excelentes características, como a alta estabilidade, a baixa expansión térmica e a alta resistencia á corrosión.Estas propiedades fan do granito un material ideal para construír compoñentes de alta precisión nun sistema de transferencia de obleas.
No proceso de fabricación de semicondutores, o sistema de transferencia de obleas xoga un papel fundamental no transporte de obleas a través das diferentes etapas do proceso de fabricación.Precisión e exactitude son os requisitos esenciais para estes sistemas xa que incluso pequenas desviacións poden poñer en perigo todo o proceso.Polo tanto, os compoñentes do sistema de transferencia de obleas deben estar feitos de materiais de alta calidade e o granito cumpre eses criterios.
Algunhas partes do sistema de transferencia de obleas que están feitas de materiais de granito inclúen:
1. Mesa de mandril de baleiro
A mesa do portabrocas ao baleiro úsase para suxeitar a oblea durante o proceso e debe ter unha superficie estable para garantir que a oblea non estea danada.O granito é un material ideal para facer esta mesa porque ten unha superficie plana e non porosa que proporciona unha gran estabilidade e precisión.Ademais, o granito ten un baixo coeficiente de expansión térmica, polo que é resistente aos cambios de temperatura que poden provocar cambios dimensionais na oblea.
2. Etapa Air-Bearing
A etapa de aire utilízase para transportar a oblea a través de diferentes etapas do proceso de fabricación.O escenario está deseñado para proporcionar un movemento sen fricción, o que require alta precisión e estabilidade.O granito utilízase nesta aplicación porque é unha pedra ríxida e dura, e resiste a deformación e o desgaste co paso do tempo.
3. Guías de movemento lineal
As guías de movemento lineal utilízanse para guiar a etapa de rodamento de aire e deben situarse con precisión para minimizar os erros.O granito úsase para construír esta guía porque ten unha excelente estabilidade mecánica e resistencia.O material tamén é resistente á corrosión, o que garante a lonxevidade do sistema de guía.
4. Equipamentos de Metroloxía
Os equipos de metroloxía úsanse para medir as dimensións e propiedades da oblea durante o proceso de fabricación.O granito é un material ideal para construír este equipo porque ten unha alta rixidez, pouca expansión e unha mínima deformación baixo carga.Ademais, a estabilidade térmica do granito garante que o equipo de metroloxía permaneza estable e preciso no tempo.
En conclusión, a industria de semicondutores depende da precisión e precisión, e os materiais de granito demostraron ser altamente fiables e estables no proceso de fabricación.Con moitos compoñentes críticos no sistema de transferencia de obleas que requiren alta estabilidade, precisión e baixa expansión térmica, os enxeñeiros recorreron aos materiais de granito para cumprir estes requisitos críticos.
Hora de publicación: 19-mar-2024