Os materiais de granito úsanse amplamente na industria dos semicondutores debido ás súas excelentes características, como a alta estabilidade, a baixa expansión térmica e a alta resistencia á corrosión. Estas propiedades fan do granito un material ideal para a construción de compoñentes de alta precisión nun sistema de transferencia de obleas.
No proceso de fabricación de semicondutores, o sistema de transferencia de obleas xoga un papel fundamental no transporte das obleas a través das diferentes etapas do proceso de fabricación. A precisión e a exactitude son os requisitos esenciais para estes sistemas, xa que mesmo pequenas desviacións poderían pór en perigo todo o proceso. Polo tanto, os compoñentes do sistema de transferencia de obleas deben estar feitos de materiais de alta calidade, e o granito cumpre eses criterios.
Algunhas partes do sistema de transferencia de obleas que están feitas de materiais de granito inclúen:
1. Mesa de mandril de aspiración
A mesa de suxeición ao baleiro úsase para suxeitar a oblea durante o proceso e debe ter unha superficie estable para garantir que a oblea non se dane. O granito é un material ideal para fabricar esta mesa porque ten unha superficie plana e non porosa que proporciona alta estabilidade e precisión. Ademais, o granito ten un baixo coeficiente de expansión térmica, o que o fai resistente aos cambios de temperatura que poderían causar cambios dimensionais na oblea.
2. Fase de soporte de aire
A etapa con soporte de aire úsase para transportar a oblea a través das diferentes etapas do proceso de fabricación. A etapa está deseñada para proporcionar un movemento sen fricción, o que require alta precisión e estabilidade. O granito úsase nesta aplicación porque é unha pedra ríxida e dura, e resiste a deformación e o desgaste co paso do tempo.
3. Guías de movemento lineal
As guías de movemento lineal utilízanse para guiar a plataforma con coxíns de aire e deben colocarse con precisión para minimizar os erros. O granito utilízase para construír esta guía porque ten unha excelente estabilidade mecánica e resistencia. O material tamén é resistente á corrosión, o que garante a lonxevidade do sistema de guías.
4. Equipos de metroloxía
Os equipos de metroloxía utilízanse para medir as dimensións e as propiedades da oblea durante o proceso de fabricación. O granito é un material ideal para construír estes equipos porque ten unha alta rixidez, baixa expansión e mínima deformación baixo carga. Ademais, a estabilidade térmica do granito garante que o equipo de metroloxía permaneza estable e preciso ao longo do tempo.
En conclusión, a industria dos semicondutores depende da precisión e a exactitude, e os materiais de granito demostraron ser moi fiables e estables no proceso de fabricación. Dado que moitos compoñentes críticos do sistema de transferencia de obleas requiren alta estabilidade, precisión e baixa expansión térmica, os enxeñeiros recorreron aos materiais de granito para cumprir estes requisitos críticos.
Data de publicación: 19 de marzo de 2024