Os leitos de granito son moi populares na fabricación de equipos de semicondutores debido ás súas excelentes propiedades, como a alta estabilidade dimensional, a alta rixidez, a baixa expansión térmica, as boas propiedades de amortiguación e a alta resistencia ao desgaste e á abrasión. Úsanse amplamente en varios compoñentes críticos da industria de fabricación de equipos de semicondutores, como sistemas de inspección de obleas, sistemas de medición de obleas, sistemas de manipulación de obleas e moito máis.
Sistemas de inspección de obleas
Os sistemas de inspección de obleas empregan leitos de granito para proporcionar unha superficie estable e plana para a inspección de obleas de semicondutores. Os leitos de granito utilízanse como plataforma de actuación que sostén a oblea que se someterá a inspección. A planitude e a rixidez do leito de granito garanten unha inspección precisa, ao tempo que minimizan os danos ou a contaminación da oblea. Os leitos de granito tamén axudan a reducir os efectos das vibracións ambientais e outros factores externos.
Sistemas de medición de obleas
Nos sistemas de medición de obleas, a precisión é fundamental. Os leitos de granito úsanse amplamente para este propósito debido á súa excelente estabilidade dimensional. Proporcionan unha base ríxida para a medición precisa do grosor, a forma e as características da superficie das obleas. Os leitos de granito tamén son resistentes ao desgaste e á abrasión, o que os fai ideais para o uso continuo durante un período prolongado.
Sistemas de manipulación de obleas
Os leitos de granito tamén se empregan nos sistemas de manipulación de obleas. Nestes sistemas, os leitos de granito utilízanse como unha guía precisa para posicionar a oblea durante o proceso de manipulación. A alta rixidez e planitude do leito de granito garanten un posicionamento preciso e repetible da oblea, o que reduce o risco de danos.
Outros compoñentes
Ademais dos compoñentes mencionados, os leitos de granito tamén se empregan noutras pezas críticas da fabricación de equipos de semicondutores, como bases de plataformas, estruturas de soporte e outras pezas de alta precisión. A alta estabilidade dimensional dos leitos de granito axuda a reducir os erros causados pola deformación das pezas, os cambios térmicos e as vibracións.
Conclusión
En conclusión, os leitos de granito son un compoñente fundamental na fabricación de equipos de semicondutores, xa que ofrecen alta estabilidade dimensional, baixa expansión térmica e excelente resistencia ao desgaste e á abrasión. Son esenciais para un rendemento preciso, repetible e fiable en sistemas de inspección de obleas, sistemas de medición de obleas, sistemas de manipulación de obleas e outros equipos de alta precisión. O uso de leitos de granito garante que os fabricantes de equipos de semicondutores poidan producir produtos de alta calidade que cumpran cos rigorosos estándares esixidos pola industria moderna dos semicondutores.
Data de publicación: 03-04-2024