INa industria de fabricación de semicondutores, a precisión dos equipos de inspección de obleas é crucial para garantir a calidade dos circuítos integrados. As bases de máquinas de granito de alta precisión, como as proporcionadas por ZHHIMG®, desempeñan un papel vital na mellora do rendemento destes equipos. Velaquí como marcan a diferenza.
Estabilidade dimensional excepcionalO granito presume dun coeficiente de expansión térmica extremadamente baixo, arredor de (4–8)×10⁻⁶/℃, significativamente inferior ao de moitos metais. No ambiente estritamente controlado das fábricas de semicondutores, onde mesmo pequenas flutuacións de temperatura poden causar erros de medición, as bases das máquinas de granito permanecen estables. Esta estabilidade garante que o posicionamento dos compoñentes nos equipos de inspección de obleas se manteña preciso, evitando calquera desviación inducida térmicamente que poida afectar a precisión dos resultados da inspección.
Amortiguación superior das vibraciónsAs plantas de produción adoitan estar cheas de vibracións de diversas fontes. As propiedades de amortiguación inherentes do granito, cunha relación de amortiguación de 0,05–0,1, absorben e disipan eficazmente estas vibracións. Para a inspiación de obleas
A sección, que require imaxes de alta resolución e lecturas precisas dos sensores, a redución das vibracións proporcionada polas bases de granito é inestimable. Minimiza a interferencia que podería desenfocar as imaxes ou distorsionar os datos dos sensores, o que permite que o equipo capture información clara e precisa sobre a superficie e a estrutura interna da oblea.
Alta rixidez e resistencia ao desgaste Cunha densidade aproximada de 3100 kg/m³, as bases de granito para máquinas de ZHHIMG® ofrecen unha rixidez notable. Poden soportar os compoñentes pesados dos equipos de inspección de obleas sen deformarse, mantendo a aliñación dos sistemas ópticos e mecánicos. Ademais, a alta dureza do granito (escala de Mohs 6–7) e a excelente resistencia ao desgaste garanten que a superficie da base da máquina permaneza plana e lisa ao longo do tempo. Esta consistencia é esencial para a precisión a longo prazo, xa que calquera desgaste ou deformación na base podería degradar gradualmente a precisión do equipo.
Inercia químicaA fabricación de semicondutores implica a exposición a diversos produtos químicos. A inercia química do granito faino resistente á corrosión destas substancias. Esta propiedade protexe a integridade da base da máquina, evitando danos inducidos por produtos químicos que poderían afectar á estabilidade e á precisión do equipo de inspección.
En conclusión, as bases de máquinas de granito de alta precisión non son só un compoñente, senón un factor clave para cumprir os requisitos de precisión esixentes dos equipos de inspección de obleas. Ao elixir bases de máquinas de granito, escolla provedores de confianza como ZHHIMG®. Con múltiples certificacións e un compromiso coa calidade, ZHHIMG® garante que cada base de máquina de granito ofreza a fiabilidade e o rendemento necesarios para a fabricación avanzada de semicondutores.
Data de publicación: 03-06-2025