No preciso mundo da fabricación de semicondutores, as probas non destrutivas das obleas son un vínculo fundamental para garantir a calidade dos chips. A aparentemente insignificante base de granito é en realidade o "heroe anónimo" que determina a precisión da detección. Como afecta isto aos resultados das probas? Este artigo realizará unha análise en profundidade de dimensións como as propiedades dos materiais e o deseño estrutural.
1. Base estable: As vantaxes naturais do granito sentarán unha base sólida para a precisión
1. Excelente rendemento sísmico
Durante o funcionamento do equipo de probas non destrutivas de obleas, a rotación do motor e o movemento dos compoñentes mecánicos xerarán vibracións. Se estas vibracións non se suprimen eficazmente, interferirán seriamente coa precisión da proba. O interior do granito está estreitamente entrelazado con cristais minerais como o cuarzo e o feldespato. A súa estrutura única dótalle dunha capacidade natural de absorción de vibracións, capaz de absorber máis do 90 % da enerxía de vibración do equipo. Os datos de medición reais dun determinado fabricante de semicondutores mostran que, despois de usar a base de granito, a amplitude de vibración do equipo de detección reduciuse de 12 μm a 2 μm, evitando eficazmente a desviación do sinal de detección causada pola vibración.
2. Coeficiente de expansión térmica extremadamente baixo
Durante o proceso de detección, factores como o quecemento do equipo e os cambios na temperatura ambiental afectarán á estabilidade da base da máquina. Os materiais ordinarios expándense significativamente cando se quentan, pero o coeficiente de expansión térmica do granito é só 1/5 do do aceiro. Mesmo se a temperatura ambiente flutúa en 10 ℃, a súa deformación pódese ignorar. Isto permite que a base de granito proporcione unha plataforma de referencia estable para o equipo de inspección, garantindo que a posición relativa entre a sonda de inspección e a oblea permaneza precisa en todo momento e evitando erros de inspección causados pola deformación térmica.
En segundo lugar, deseño preciso: a optimización estrutural mellora aínda máis a fiabilidade da detección
Procesamento de alta precisión e garantía de planitude
A base de granito de alta calidade está procesada mediante tecnoloxía CNC avanzada de cinco eixes, cunha planitude de ±0,5 μm/m, o que proporciona unha referencia de instalación ultraplana para os equipos de inspección. Na inspección de obleas, a verticalidade e a nivelación da sonda de inspección son cruciais para os resultados da inspección. Unha base de granito de alta precisión pode garantir o posicionamento preciso da sonda, facendo que os datos de inspección sexan máis precisos e fiables.
2. Adaptación estrutural personalizada
As bases das máquinas de granito pódense personalizar para diferentes equipos de probas non destrutivas de obleas e requisitos de procesos. Por exemplo, para cumprir os requisitos dos equipos de inspección óptica para a reflexión da luz, a superficie da base da máquina pode ser tratada especialmente; para cumprir os requisitos de instalación dos equipos de probas por ultrasóns, a base pode ser prefabricada con orificios de instalación precisos e bandexas para cables, o que permite unha instalación rápida e precisa do equipo e reduce as desviacións de detección causadas por erros de instalación.
Iii. Estabilidade a longo prazo: Reducir a perda de precisión causada polo mantemento dos equipos
O granito ten unha alta dureza e unha forte resistencia ao desgaste, cunha dureza Mohs de 6 a 7, que é tres veces a resistencia ao desgaste do aceiro ordinario. Durante as operacións de inspección a longo prazo, a superficie da base da máquina non é propensa ao desgaste e sempre pode manter un bo estado de precisión. Pola contra, as bases feitas doutros materiais poden causar cambios na referencia de instalación do equipo debido ao desgaste, afectando así á precisión da detección e requirindo unha calibración e un mantemento frecuentes. A longa vida útil e a alta estabilidade da base de granito reducen eficazmente a frecuencia de mantemento do equipo e reducen o risco de perda de precisión que pode ocorrer durante o proceso de mantemento.
Desde a resistencia aos golpes e á calor ata o deseño preciso, cada característica da base de granito salvagarda a precisión das probas non destrutivas das obleas. Na era actual da fabricación de semicondutores que busca a máxima precisión, elixir unha base de granito de alta calidade é como engadir unha sólida capa de garantía á precisión e fiabilidade dos resultados das probas.
Data de publicación: 18 de xuño de 2025