No campo da fabricación de alta gama e da investigación científica de vangarda, o módulo de movemento de ultraprecisión do flotador de aire converteuse nun equipo clave para o funcionamento e a medición precisos grazas ao seu excelente rendemento de precisión. A base de precisión de granito, como núcleo de soporte, ten requisitos estritos para o ambiente de traballo, e as condicións ambientais axeitadas son a base para garantir o seu rendemento estable e o mellor efecto.
Primeiro, control da temperatura: "estabilizador" de precisión
Aínda que o granito é coñecido pola súa estabilidade, non é completamente inmune aos cambios de temperatura. Aínda que o seu coeficiente de expansión térmica é baixo, xeralmente de 5-7 ×10⁻⁶/℃, en escenarios de control de movemento de ultraprecisión, as flutuacións sutís de temperatura aínda poden causar cambios dimensionais e afectar á precisión do módulo. No taller de fabricación de chips semicondutores, o proceso de litografía require unha precisión de posicionamento de nivel danami, e a temperatura ambiente flutúa en 1 °C, e a base de granito cunha lonxitude de lado de 1 metro pode producir unha expansión ou contracción lineal de 5-7 micras. Este pequeno cambio é transmitido polo módulo de movemento de ultraprecisión do flotador de aire, o que é suficiente para facer que o patrón de litografía do chip se desvíe e reduza considerablemente o rendemento. Polo tanto, equipado cunha base de precisión de granito do módulo de movemento de ultraprecisión flotante de aire, a temperatura ideal do ambiente de traballo debe controlarse a 20 °C ± 1 °C, coa axuda de equipos de temperatura constante de alta precisión, como un sistema de aire acondicionado de temperatura e humidade constantes, monitorización e axuste continuos da temperatura ambiente, para garantir que as flutuacións de temperatura nun rango moi pequeno manteñan a estabilidade do tamaño da base, para garantir que o módulo funcione de alta precisión.
En segundo lugar, a xestión da humidade: a clave para a protección contra a humidade da "pedra"
A humidade é outro factor importante que afecta o rendemento da base de granito de precisión. Nun ambiente de alta humidade, o granito absorbe facilmente vapor de auga, o que pode provocar condensación na superficie, o que non só afecta á estabilidade da conexión do granito e ao módulo de movemento de ultraprecisión do flotador de aire, senón que tamén pode causar erosión superficial e reducir o brillo e a precisión a longo prazo. No taller de rectificado de lentes ópticas, se a humidade é superior ao 60 % de HR durante moito tempo, o vapor de auga adsorbido na superficie da base de granito interferirá co movemento do deslizador do flotador de gas, de xeito que a precisión da rectificado da lente se reduce e a superficie presenta defectos. Polo tanto, a humidade relativa do ambiente de traballo debe controlarse estritamente entre o 40 % e o 60 % de HR, que se pode monitorizar e axustar en tempo real instalando deshumidificadores, sensores de humidade e outros equipos para evitar danos na base de granito debido á alta humidade e garantir o bo funcionamento do módulo de movemento de ultraprecisión do flotador de aire.
En terceiro lugar, garantía de limpeza: o "gardián" da precisión
Non se pode subestimar o dano das partículas de po á base de granito de precisión do módulo de movemento de ultraprecisión da flotación de aire. Unha vez que as pequenas partículas entran no espazo da película de gas entre o deslizador do flotador de gas e a base de granito, poden destruír a uniformidade da película de gas, aumentar a fricción e mesmo raiar a superficie da base, o que resulta nunha redución da precisión do movemento. No taller de mecanizado de ultraprecisión de pezas aeroespaciais, se as partículas de po do aire caen sobre a base de granito, a traxectoria do movemento da ferramenta de mecanizado pode desviarse, o que afecta á precisión do mecanizado das pezas. Polo tanto, a área de traballo debe manterse moi limpa, alcanzando niveis de estándares de limpeza de 10.000 ou incluso superiores, mediante a instalación de equipos de purificación de aire, como filtros de aire de alta eficiencia (HEPA), filtrando as partículas de po do aire, ao mesmo tempo, o persoal debe usar roupa sen po, cubertas para zapatos, etc., para reducir o po traído polos humanos. Manteña un ambiente operativo de alta precisión da base de granito e do módulo de movemento de ultraprecisión do flotador de aire.
Catro, illamento de vibracións: funcionamento suave da "almofada de choque"
A vibración externa é inimiga da precisión do módulo de movemento de ultraprecisión do flotador de aire. Aínda que a base de granito de precisión ten unha certa capacidade de atenuación de vibracións, a vibración de alta resistencia aínda pode romper o seu límite de amortiguación. A vibración xerada polo tráfico arredor da fábrica e o funcionamento de grandes equipos mecánicos transmítese á base de granito a través do chan, o que interferirá coa precisión do movemento do módulo de movemento de ultraprecisión do flotador de aire. Nas CMM de gama alta, a vibración pode facer que o contacto entre a sonda de medición e a peza a medir sexa inestable, o que resulta nunha desviación dos datos de medición. Para resolver este problema, é necesario adoptar medidas eficaces de illamento de vibracións, como colocar almofadas de illamento de vibracións na área de instalación do equipo, construír cimentos de illamento de vibracións ou usar un sistema activo de illamento de vibracións para compensar activamente a vibración externa e crear un ambiente de traballo silencioso e estable para a base de precisión de granito e o módulo de movemento de ultraprecisión do flotador de aire.
Só cumprindo plenamente os requisitos ambientais de temperatura, humidade, limpeza e control de vibracións, a base de precisión de granito do módulo de movemento de ultraprecisión do flotador de aire pode aproveitar ao máximo as súas vantaxes de rendemento, proporcionar unha garantía fiable para operacións de ultraprecisión en diversos campos e axudar á industria a avanzar cara a un nivel de fabricación e investigación científica de maior precisión.
Data de publicación: 08-04-2025