Nos campos da fabricación de precisión e a investigación científica, a planitude das plataformas de precisión de granito é un indicador clave para garantir a precisión dos equipos. A continuación, ofrécese unha introdución detallada a varios métodos de detección convencionais e os seus procedementos de funcionamento.
I. Método de detección por interferómetro láser
O interferómetro láser é a ferramenta preferida para a detección de planitude de alta precisión. Tomemos como exemplo o interferómetro láser ZYGO GPI XP, a súa resolución pode alcanzar os 0,1 nm. Ao realizar a detección, primeiro aliñe a fonte de luz do interferómetro coa plataforma e divida a superficie da plataforma en áreas de cuadrícula de 50 mm × 50 mm. Posteriormente, os datos das franxas de interferencia recolléronse punto por punto e os datos axustáronse e analizáronse usando o polinomio de Zernike para obter o erro de planitude. Este método é aplicable a plataformas de alta precisión e pode detectar erros de planitude de ≤0,5 μm/m². Úsase habitualmente na detección de máquinas de fotolitografía e plataformas de máquinas de medición de tres coordenadas de alta gama.
Ii. Método de matriz de niveis electrónicos
A detección de matriz de niveis electrónicos é sinxela de operar e moi eficiente. Seleccionouse o nivel electrónico TESA A2 (cunha resolución de 0,01 μm/m) e dispúxose nunha matriz de 9×9 ao longo da dirección do eixe X/Y da plataforma. Ao recoller sincronicamente os datos de inclinación de cada nivel e logo usar o método dos mínimos cadrados para o cálculo, pódese obter con precisión o valor de planitude. Este método pode identificar eficazmente as condicións locais de concavidade e convexidade da plataforma. Por exemplo, tamén se pode detectar unha flutuación de 0,2 μm dentro dun rango de 50 mm, o que é axeitado para unha detección rápida na produción en masa.
Iii. Método óptico de cristal plano
O método do cristal plano óptico é axeitado para a detección de plataformas de pequena área. Fixe o cristal plano óptico firmemente á superficie que se vai probar na plataforma e observe as franxas de interferencia formadas entre elas baixo a iluminación dunha fonte de luz monocromática (como unha lámpada de sodio). Se as raias son raias rectas paralelas, indica unha boa planitude. Se aparecen raias curvas, calcule o erro de planitude en función do grao de curvatura da raia. Cada raia curva representa unha diferenza de altura de 0,316 μm e os datos de planitude pódense obter mediante unha simple conversión.
Catro. Método de inspección da máquina de medición de tres coordenadas
A máquina de medición tricoordenada pode lograr medicións de alta precisión no espazo tridimensional. Coloque a plataforma de granito na mesa de traballo da máquina de medición e use a sonda para recoller uniformemente datos de múltiples puntos de medición na superficie da plataforma. O sistema da máquina de medición procesa e analiza estes datos para xerar un informe de planitude da plataforma. Este método non só pode detectar a planitude, senón tamén obter outros parámetros xeométricos da plataforma simultaneamente, e é axeitado para a detección exhaustiva de grandes plataformas de granito.
Dominar estes métodos de detección pode axudarche a avaliar con precisión a planitude da plataforma de precisión de granito e proporcionar unha garantía fiable para o funcionamento estable dos equipos de precisión.
Data de publicación: 29 de maio de 2025