Na procura da próxima xeración de fabricación de semicondutores e metroloxía submicrónica, a "fundación" e a "ruta" son as dúas variables máis importantes. A medida que os deseñadores de máquinas se esforzan por un maior rendemento e unha repetibilidade a nivel nanométrico, a elección entre unguía de rodamentos de aire de granitoe unha guía de rolamento de rolos tradicional converteuse nunha decisión de enxeñaría fundamental. Ademais, o propio material da base da máquina (en comparación co granito e a cerámica de alto rendemento) determina os límites térmicos e vibratorios de todo o sistema.
Comparación das guías de rodamentos de aire de granito e as guías de rodamentos de rolos
A diferenza fundamental entre estes dous sistemas reside no seu método para soportar a carga e xestionar a fricción.
Guías de rodamentos de aire de granitorepresentan o pico do movemento sen fricción. Mediante a utilización dunha fina película de aire comprimido (normalmente entre 5 e 20 micras), o carro en movemento flota literalmente sobre o carril guía de granito.
-
Cero fricción e desgaste:Debido a que non hai contacto físico, non hai que superar ningunha "fricción" (fricción estática) e o sistema nunca se desgasta. Isto permite unha dixitalización incriblemente suave a velocidade constante.
-
Promediación de erros:Unha das vantaxes máis significativas dos coxinetes de aire é a súa capacidade para "compensar" as irregularidades microscópicas do acabado superficial do carril de granito, o que leva a un movemento máis recto que o propio carril.
-
Limpeza:Sen necesidade de lubricación, estas guías son inherentemente compatibles con salas brancas, o que as converte no estándar para a inspección de obleas e a produción de pantallas planas.
Guías de rolamentos de rolos, pola contra, dependen do contacto físico de rolos ou bólas de aceiro de alta precisión.
-
Capacidade de carga superior:Para aplicacións que impliquen cargas útiles pesadas ou forzas de corte elevadas (como a rectificación de precisión), os rodamentos de rolos ofrecen unha rixidez e unha capacidade de carga significativamente maiores.
-
Simplicidade operativa:A diferenza dos rodamentos de aire, que requiren un subministro de aire comprimido constante e ultralimpo e sistemas de filtración, os rodamentos de rolos son "conectables e listos".
-
Deseño compacto:Os rolamentos mecánicos adoitan soportar cargas máis elevadas nun tamaño máis pequeno en comparación coa maior superficie necesaria para unha almofada de rolamento de aire eficaz.
Aínda que os rodamentos de rolos son robustos e rendibles para a precisión xeral, os rodamentos de aire son a opción innegociable para aplicacións onde o "contacto" é o inimigo da precisión.
Aplicacións das guías de rodamentos de aire: onde a precisión se une á fluidez
A adopción de guías de rodamentos de aire expandiuse máis alá do laboratorio á produción industrial de alto volume.
NoIndustria de semicondutores, os rodamentos de aire utilízanse en litografía e sondaxe de obleas. A capacidade de moverse a altas velocidades sen vibracións garante que o proceso de dixitalización non introduza artefactos nos circuítos a escala nanométrica.
In Imaxe dixital e dixitalización de gran formato, a velocidade constante dun rodamento de aire é crucial. Calquera "deformación" ou vibración dun rodamento mecánico daría lugar a "bandas" ou distorsión na imaxe final de alta resolución.
Máquinas de medición por coordenadas (CMM)confían en guías de rodamentos de aire de granito para garantir que a sonda se poida mover co toque máis lixeiro posible. A falta de fricción permite que o sistema de control da máquina responda instantaneamente aos cambios superficiais máis mínimos da peza que se está a medir.
A base material: granito vs. cerámica para bases de máquinas
O rendemento de calquera sistema de guía está limitado pola estabilidade da base sobre a que se monta. Durante décadas, o granito foi o estándar da industria, pero as cerámicas avanzadas (como a alúmina ou o carburo de silicio) están a abrirse un nicho en aplicacións de rendemento extremo.
Bases de máquinas de granitoseguen sendo a opción preferida para o 90 % das aplicacións de alta precisión.
-
Propiedades de amortiguación:O granito é naturalmente superior á hora de absorber vibracións de alta frecuencia, o que é esencial para a metroloxía.
-
Custo-eficacia:Para bases a grande escala (ata varios metros), o granito é significativamente máis económico de obter e procesar que a cerámica técnica.
-
Inercia térmica:A gran masa do granito significa que reacciona lentamente aos cambios de temperatura ambiente, o que proporciona un ambiente estable para medicións de longa duración.
Bases de máquinas de cerámica(especificamente a alúmina) utilízanse cando se require o rendemento "máximo".
-
Alta relación rixidez-peso:A cerámica é moito máis ríxida que o granito para o mesmo peso. Isto permite unha maior aceleración e desaceleración das etapas móbiles sen deformar a base.
-
Estabilidade térmica extrema:Algunhas cerámicas teñen un coeficiente de expansión térmica (CTE) incluso inferior ao do granito, e a súa maior condutividade térmica permite que a base alcance o equilibrio térmico máis rápido.
-
Dureza:A cerámica é practicamente resistente aos arañazos e á erosión química, aínda que é máis fráxil e significativamente máis cara de fabricar en grandes formatos.
O compromiso de ZHHIMG coa ciencia dos materiais
En ZHHIMG, cremos que a mellor solución raramente é unha solución única para todos. O noso equipo de enxeñería especialízase na integración híbrida destas tecnoloxías. A miúdo utilizamos a masa amortecedora de vibracións dunha base de granito para soportar o movemento sen fricción dunha guía de rodamentos de aire, ás veces incorporando insercións cerámicas en puntos críticos de alto desgaste ou alta rixidez.
Como fabricante líder, ofrecemos ao mercado global a certeza xeolóxica do granito de primeira calidade e a sofisticación técnica dos sistemas de movemento modernos. As nosas instalacións de fabricación combinan a experiencia tradicional no lapeado manual (unha habilidade necesaria para lograr a planitude necesaria para os coxíns de aire) coa mecanización CNC de última xeración e a interferometría láser.
Conclusión: Deseñando o teu éxito
A elección entre granito e cerámica, ou entre rolamentos de aire e mecánicos, dita en última instancia os límites operativos da súa tecnoloxía. Para os enxeñeiros dos sectores aeroespacial, de semicondutores e de metroloxía, comprender estas compensacións é a clave da innovación. O Grupo ZHHIMG continúa a ampliar os límites do que é posible no movemento de precisión, garantindo que a súa máquina se asente sobre unha base de estabilidade absoluta e se mova cunha precisión sen igual.
Data de publicación: 22 de xaneiro de 2026
